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      蘇州半導體千級凈化車間施工驗收方案

      「供應」蘇州半導體千級凈化車間施工驗收方案

      公司:昆山清陽凈化系統工程有限公司
      所在地:江蘇 昆山市
      聯系人:蔡先生
      發布日期:2021-10-6
      電話:18915644129
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      信息詳情

      蘇州半導體千級凈化車間施工驗收方案

      凈化車間技術參數為: 凈化度級別 10000 級, 溫度 22℃±2℃,濕度 55%±5%, 照明≥300LX, 噪聲≤65dB(A), 現根據有關規范和現場實際情況, 制度如下驗收方案:

      一、 潔凈度的檢測:  189*1564*4129
      1. 測定前, 凈化空調系統連續運行至少 24 小時。
      2. 測定在靜態下進行, 測試人員必須穿戴好潔凈服裝。
      3. 測試儀器為激光塵埃粒子計數儀, 型號 Y09-A。
      4. 測定點高度距地面 1~1.2m。
      5. 測定點數的確定, 根據國家有關采樣點詳見潔凈度檢測點平面圖。
      6. 每個測定點每次采樣時間為 1 分鐘, 每個點測試 3 次, 取平均值。 平均含塵濃度符合潔凈度萬級標準為合格。
      7. 室內要求封閉, 無菌。
      二、 室內噪聲檢測
      1. 測噪聲儀器為數字式聲級計, 一般只測 A 聲級。
      2. 測量位置距地面 1.5 米高, 測試點位詳見噪聲檢測點平面圖。
      3. 各點 S65dB(A)為合格。
      三、 溫濕度的檢測:
      1. 測定前凈化空調系統應連續運行至少 24 小時。
      2. 對恒溫恒濕要求, 根據溫濕度波動范圍的要求, 測定直接連續進行 8! 48 小時, 每次測定間隔時間不大于 30 分鐘。
      3. 測試點距地面 1~1.5m, 交錯布置, 距外墻表面應大于 0.5 米。
      4. 測點數, 根據有關規范, 面積 S50 ㎡, 測點數為 5 個, 每增加20~50 ㎡, 增加 3~5 個點, 本次驗收設計采樣點為 130 個。 詳見溫濕度檢測點平面圖。
      5. 測試儀器為溫濕度儀或棒狀酒精溫度計。
      6. 90%以上的測點達到的偏差值在設計參數內, 則驗收為合格。
      四、 室內照度的檢測:
      1. 檢測用照度儀(TES1330A) 測定。
      2. 測點平面離地面 0.8~1.0m, 按 2m 間距布置, 測點距離墻面應不小于 1.0m, 測試點位詳見照度檢測點平面圖。
      3. 90%以上的測點值在設計值內, 則檢驗為合格。
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